МЭМС: микроэлектромеханические системы (MEMS: Micro-Electro-Mechanical-Systems) - миниатюрные устройства размерами до единиц мм (отдельные размеры устройств от единиц мкм) имеющие, как механические, так и электрические функции. Как правило, изготавливаются с помощью групповых процессов. Термин наиболее распространен в США, в Европе для обозначения этой области применяется термин "микросистемная технология" (MST: MicroSystems Technology), в России - "микросистемная техника", в Японии - "микромашины" (micromachines).