Микромашины (micromachines) - механическое устройство микроскопических размеров. Термин распространен в Японии и имеет более широкое толкование, чем МЭМС так, как к микромашинам относятся и устройства, изготавливаемые с помощью различных не групповых прецизионных процессов - лазерной обработки, электроискровой обработки и т.д.