Анодная сварка, термоэлектродиффузионная сварка (anodic bonding) - метод герметичного бесклеевого соединения стекла с кремнием. Кремниевая и стеклянная пластины в контакте нагреваются до 300-500 oC, подается высокое напряжение, происходит миграция ионов стекла в поверхностный слой кремния и пластины соединяются прочной химической связью.