Поверхностная микрообработка (surface micromachining) - технология, которая использует для формирования микроустройств, слои различных материалов, наносимых на подложку. Обеспечивает возможность создания на одном чипе как микроэлектромеханической, так обрабатывающей сигнал электронной схемы.