Пластина (wafer) - тонкая круглая пластина из кремния, сапфира или другого материала, использующаяся как подложка (основание), на которой изготавливаются микромеханические и / или интегральные схемы. На одной пластине, как правило, изготавливаются значительное число чипов. Пластины в настоящее время изготавливаются диаметрами 4", 6", 8" и 12" (300мм).