Травление (etching) - удаление частей слоя (слоев) материала химическим или электролитическим путем. При жидкостном травлении (wet etching) материал удаляется при взаимодействии с химическим раствором. При сухом травлении (dry etching) материал удаляется, используя активные ионы или травитель в газовой фазе.