Характерное отношение (Aspect ratio) - отношение одного характерного размера структуры к другому.
- Горизонтальное (lateral): длина элемента в плане к его ширине.
- Вертикальное (vertical): отношение высоты (глубины) элемента к его ширине. Для оценки качества глубокого травления важным параметром является отношение глубины травления к величине отклонения стенки от вертикали.