ЛИГА-технология (LIGA - Lithographie, Galvanofomung, Abformung - нем.) - технология микрообработки, основанная на использовании для литографии рентгеновского излучения (X-ray lithography) от синхротрона и чувствительного к рентгеновскому излучению толстого (единицы мм) полимерного слоя; после химической обработки экспонированного полимерного слоя в нем создается матрица, служащая для дальнейшего гальванического осаждения металла (electroforming), металлическая форма может использоваться для получения полимерных отливок под давлением (molding). Обеспечивает создание для микросистем очень высоких (единицы мм) с вертикальными стенками деталей из металла или пластика.