Глоссарий - Микросхемотехника (MEMS)

Анизотропное травление
Анодная сварка
Групповой метод производства
Глубокое реактивное ионное травление
Изотропное травление
КНИ
Контактные площадки
Лаборатория-на-чипе
ЛИГА-технология
Литография
Маска
МЭМС
МЭМС-датчик
Микрочип
Микромашины
Микрообработка
Микротехнология
Микросистема
МСТ
Микросистемная технология
Напыление
Объемная микрообработка
Поликремний
Подложка
Поверхностная микрообработка
Пластина
РЭМ
СТМ
Травление
Фотолитография
Фотошаблон
Характерное отношение
Чип