| МЭМС – датчики. Введение.
Развитие микроэлектроники привело к беспрецедентному возрастанию вычислительных мощностей. Повышение эффективности и
безопасности производства и транспорта, мониторинг и диагностика состояния атмосферы, вод и тверди Земли, новые возможности
для медицины и здравоохранения, решение других глобальных проблем – вот круг кардинальных изменений, которые сулит информационная
революция.
Необходим новый уровень связи внешнего мира с виртуальным. Существующие производство и огромный парк разнотипных датчиков только
в первом начальном приближении отвечают сегодняшним требованиям.
Решение должно обеспечивать производство в количествах значительно превышающих сегодняшний парк датчиков более дешевыми и
унифицированными методами.
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) и более широкая область - микросистемная техника (МСТ) возникли и развиваются на
основе использования модифицированных технологий микроэлектроники. Как и микросхемы, создаваемые изделия изготавливаются
групповыми методами, обеспечивающими массовые тиражи и низкую стоимость единичного изделия. МЭМС датчики предназначены для
восприятия внешних механических, тепловых, химических и др. воздействий, а не только для преобразования, обработки и передачи
электрических сигналов. Более того, в рамках микросистемной техники создаются устройства активно взаимодействующие с внешним
миром, т.н. «активаторы»: различные клапаны, насосы, микродвигатели и т.д.
Богатое «приданое» микроэлектроники создало мощный фундамент: это сверхчистые материалы и прецизионные точности, технологии
проектирования и развитые инфраструктуры разработки, производства и продажи. Естественно все это требует адаптации и развития.
В новой более обширной области по целям и объектам необходимы новые материалы, технологии и структуры.
При подготовке работы были использованы материалы публикаций В.В. Лучинина (СПбГЭТУ), Е.Н. Пятышева (СПбГПУ),
фирм KISTLER, ENDEVCO, SenSym, Motorola, а также агенства DARPA. |
